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上海合晶硅材料有限公司
Wafer Works(Shanghai)Corp.

主要产品及性能介绍

主要产品有集成电路和外延用硼、磷、砷、锑等不同掺杂剂的各类硅单晶抛光片,如背处理(损伤吸杂、长多晶、长二氧化硅)抛光片、高平整度硅抛光片、优质外延衬底硅抛光片、薄型硅单晶抛光片、超重掺外延衬底硅单晶片;也可按客户特殊要求加工生产。产品具有电阻率均匀、平整度高、补偿度小、金属杂质含量低和吸除表面有源区金属杂质、防止自掺杂等优异性能,产品质量达国际和国内先进水平。

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