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佳能光学设备(上海)有限公司
Canon Optical Industrial Equipment (Shanghai) Inc.

主要产品及性能介绍

1. 佳能步进式、扫描式光刻机设备。产品型号有FPA-5550iZ, FPA-5510iZ, FPA-6000ES6a等;

2. Canon Anelva PVD. 用于存储器布线成膜(Memory Wiring Deposition)的大规模量产化PVD设备。设备型号I-1230用于半导体存储器互连行业的传导金属加工处理;

3. 氦气检漏仪、物质分析仪、真空泵、真空计、光学传感器等。

联系方式

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